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    diener真空等離子清洗機

    簡要描述:diener真空等離子清洗機Femto RIE表面清洗
    適用6寸以下樣品的處理
    用于硅片、玻璃、塑膠材料表面的處理
    配置自動/手動模式,實現控制高機能
    桌上型,省空間
    適合于研究院、高校、研發中心使用

    • 所在城市:國外
    • 廠商性質:經銷商
    • 更新日期:2022-06-17
    • 訪  問  量:968
    詳細介紹
    品牌其他品牌產地類別進口
    應用領域化工外形尺寸W560?x?D600?x?H860mm
    電源AC230?V?/?16?A真空泵排氣速度不小于4m3/H,?極限真空度小于10Pa
    工藝氣路單路,雙路,三路工藝氣體O2,Ar,N2,CO2,H2(CF4,SF6,NH3)*1

    diener真空等離子清洗機/低壓等離子系統,適用于等離子清洗、活化、蝕刻及涂層

    德國Diener electronic成立于1993年,是一家專門研發和制造低溫低壓等離子清洗機、等離子射頻電源和大氣(常壓)等離子清洗機的高科技企業。

    diener真空等離子清洗機用途:

    ·適用6寸以下樣品的處理
    ·用于硅片、玻璃、塑膠材料表面的處理
    ·配置自動/手動模式,實現控制高機能
    ·桌上型,省空間
    ·適合于研究院、高校、研發中心使用

    特點:

    表面清洗活化
    表面蝕刻

    可以更靈活地操作,簡便地改變處理氣體的種類和處理程序;不會對操作人員的身體造成任何傷害;其成本對于等離子處理方法來說是微不足道的。

    參數:


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